光刻胶树脂制备打破“技术黑箱”

光刻胶作为芯片制造的核心材料之一，其质量直接影响芯片的性能和成品率。然而，当前全球高端氟化氪（KrF）光刻胶树脂相关技术与市场长期集中在少数国外企业手中，导致供应链高度依赖、材料成本居高不下、难以满足定制化和快速响应需求等局面。

近日，依托2030新一代人工智能国家科技重大专项总体部署，上海人工智能实验室联合厦门大学、苏州国家实验室等合作单位基于“书生”科学大模型与“书生”科学发现平台，构建了“AI决策+自动化合成”的闭环研发体系，实现了高纯度、高一致性、高效率的KrF光刻胶树脂创制。这一突破使高端光刻胶树脂的稳定制备不再依赖于极少数国外供应商的“黑箱能力”，为全球芯片材料领域探索出一条可标准化、快速迭代的新路径。

体系的核心优势，在于实现了“干实验（AI决策）—湿实验（物理合成）”的闭环迭代：AI模型生成光刻胶树脂合成实验方案，经SCP协议转化为自动化平台指令，并在物理实验室中完成高通量的合成与表征任务；实验产出的分子量、热稳定性等关键数据自动回传AI模型，驱动算法优化下一轮方案，实现研发体系自我进化。基于此循环，研发团队在光刻胶树脂分子量稳定性、Tg耐热指标等关键领域取得阶段性进展，成功实现从“经验主导”向“数据驱动”的转型，为光刻胶产业突破技术瓶颈提供了全新路径。

记者获悉，目前，这些平台已支撑多批次自动化合成与性能验证，批次间一致性得到显著提升。其中，厦门恒坤新材料科技股份有限公司基于光刻胶配方开发经验，完成了树脂适配，产业关键指标均达预期，后续将进入客户端验证阶段。

本报记者 郜阳